Пузырьки воздуха если они появились удобно прокалывать иглой от шприца а потом аккуратно пальцами разглаживать, чтоб не передержать под лампой фоторезист рекомендую из старого сканера ,четырех светильников дневного света ( продают такие длинной 300мм только трубки нужно заменить на "черные") и таймера собрать "установку для засветки фоторезиста" тогда и качество вырастет в разы особенно если ее дополнить вакуумным прижимом шаблона чтоб не было размытых краев дорожек