ad247

Оптическую литографию можно будет использовать при производстве полупроводниковых микросхем по нормам 12 нм, утверждают исследователи Массачусетского технологического института (MIT). Пока им удалось продемонстрировать возможность формирования линий толщиной 25 нм с помощью разработки, получившей название литографии с интерференцией луча развертки.

Ученые полагают, что эта же самая технология позволит работать с разрешением, по меньшей мере, до 12 нм. По их словам, при дальнейшем продвижении вперед основными основными ограничивающими факторами становятся шероховатость материалов и невозможность наблюдать столь малые структуры.

В интерференционной литографии используется два лазера с разной рабочей частотой. За счет их интерференции формируется дифракционная картина с гораздо более высоким разрешением, чем обеспечивает любой из лазеров отдельно. Ограничения, не связанные с оптическими факторами, ограничивают применение интерференционной литографии процессами проверки фоторезиста, а не реальным формированием элементов электронных цепей на поверхности пластины.

Добавив возможность развертки или сканирования, ученые рассчитывают перевести интерференционную литографию в разряд коммерчески применимых технологий производства чипов по нормам 25 нм и менее.

http://www.ixbt.com/short/images/nan...ged%5B1%5D.jpg


В обычной литографии полупроводниковая пластина остается неподвижной, а в интерференционной она все время движется. К сожалению, перемещение пластины относительно лазеров приводит к доплеровскому смещению частот. Это становится причиной нерегулярностей в дифракционной картине, что препятствует практическому применению технологии. По словам исследователей из MIT, проблему удалось решить, воздействуя на пластину ультразвуковыми волнами с частотой 100 МГц, компенсирующими нежелательный эффект.

Коммерциализацией разработки будет заниматься компания Plymouth Grating Laboratory, созданная руководителем проекта.

источник http://www.ixbt.com/news/hard/index.shtml?10/81/77

Hacker

ad247
нафиг тупо копировать новость? даже фотка не открывается.. коль выкладываете копии, то уж будьте любезны позаботится о фотках.. :mad:

ad247

Оо а сначала открывалась, странно

petrov95

Не подскажите, где можно скачать директ икс десятый ?

Гризлик

JereMy, Вот здесь посмотрите http://idirectx.ru/

petrov95

Гризлик, там платное скачивание

Гризлик

JereMy, Принципиально 10 для 7 вроде 11 идет?

petrov95

Гризлик, мне именно 10 нужен

Гризлик

JereMy, Ну вот эту попробуйте http://freesoft.ru/get.html?ident=52...&file=dx10.rar

Fiiniishh

Для 7 он не нужен,у неё 11 встроен и он имеет обратную совместимость со всеми старыми