Продолжение...
После того, как возможности оптического микроскопа были исчерпаны, исследователь воспользовался электронным. Автор снимков замечает, что испытывал трудности с фокусировкой. Из-за бомбардировки электронами на элементах чипа накапливался электрический заряд, который и сбивал фокус.
На последнем снимке отдельные элементы (проводники) имеют размер 200-250 нм. Именно по такому техпроцессу (250-130 нм) и изготавливались процессоры Pentium III. Чтобы увидеть отдельные транзисторы чипа, автору пришлось бы снимать слой за слоем, что подразумевает достаточно сложный процесс и инструментарий.
Источник:
3DNews.ru
Сначала думал разместить в новостях, но подумал, что это не очень новость, и прилепил сюда